精測電子近期投資者關(guān)系活動記錄表顯示，公司子公司上海精測主要聚焦半導(dǎo)體前道檢測設(shè)備領(lǐng)域，致力于半導(dǎo)體前道量測檢測設(shè)備的研發(fā)及生產(chǎn)，設(shè)備應(yīng)用于硅片加工、晶圓制造、科研實驗室、第三代半導(dǎo)體四大領(lǐng)域。
上海精測膜厚系列產(chǎn)品、OCD設(shè)備、電子束設(shè)備已取得國內(nèi)多家客戶的批量訂單，且上述產(chǎn)品均已取得先進(jìn)制程訂單，公司先進(jìn)制程產(chǎn)品訂單已實現(xiàn)部分交貨且取得重復(fù)訂單；半導(dǎo)體硅片應(yīng)力測量設(shè)備也取得客戶重復(fù)訂單；明場光學(xué)缺陷檢測設(shè)備已完成首臺套交付，且已取得更先進(jìn)制程訂單；有圖形暗場缺陷檢測設(shè)備等其余儲備的產(chǎn)品目前正處于研發(fā)、認(rèn)證以及拓展的過程中。