精測電子近期投資者關系活動記錄表顯示，公司子公司上海精測主要聚焦半導體前道檢測設備領域，致力于半導體前道量測檢測設備的研發(fā)及生產，設備應用于硅片加工、晶圓制造、科研實驗室、第三代半導體四大領域。
上海精測膜厚系列產品、OCD設備、電子束設備已取得國內多家客戶的批量訂單，且上述產品均已取得先進制程訂單，公司先進制程產品訂單已實現部分交貨且取得重復訂單；半導體硅片應力測量設備也取得客戶重復訂單；明場光學缺陷檢測設備已完成首臺套交付，且已取得更先進制程訂單；有圖形暗場缺陷檢測設備等其余儲備的產品目前正處于研發(fā)、認證以及拓展的過程中。