英杰電氣：已具備半導(dǎo)體設(shè)備部分機(jī)臺(tái)射頻電源的國(guó)產(chǎn)化替代以及量產(chǎn)能力

英杰電氣1月11日在互動(dòng)平臺(tái)表示，射頻電源訂單前幾個(gè)月已經(jīng)開始放量，向重點(diǎn)客戶批量供貨，目前公司已經(jīng)具備了半導(dǎo)體設(shè)備（刻蝕機(jī)、PECVD等）部分機(jī)臺(tái)射頻電源的國(guó)產(chǎn)化替代以及量產(chǎn)的能力，其余機(jī)臺(tái)的射頻電源研發(fā)也正在有序推進(jìn)，目前推進(jìn)進(jìn)度良好。